Кварцевое стекло представляет собой охлажденный расплав чистой двуокиси кремния. Своей аморфной структурой оно отличается от кристаллического кварца, имея с ним одинаковый химический состав. Кварцевому стеклу присущ комплекс ценнейших свойств, не достижимый у других стекол. Его отличает высокая механическая прочность, химическая стойкость, высокая температура размягчения, прозрачность в широком диапазоне излучений и т. п.

Это делает кварцевое стекло незаменимым материалом для вакуумных оболочек многих высокоинтенсивных источников света.

Кварцевое стекло обладает нечувствительностью к термоудару, температура начала его размягчения около 1300°С. Удельное объемное электрическое сопротивление кварцевого стекла очень велико и равно при комнатной температуре около 1015 Ом-м. Точка ТК-ЮО соответствует температуре 600 °С. Кварцевое стекло прозрачно для излучений в очень широком диапазоне длин волн (180—5000 нм).

В отношении вакуумных свойств температуры 300, 600 и 900 °С являются для кварцевого стекла критическими, так как при этих температурах наблюдается соответственно максимальная скорость абсорбции, минимальная скорость газовыделения с поверхностного слоя и максимальная скорость газовыделения из объема. Выделяющиеся при обезгаживании кварцевого стекла газы в основном состоят из двуокиси углерода, окиси углерода, азота, а также сравнительно небольшого количества других газов — водорода, метана, паров воды, кислорода и др.